倍率

×10 ～ ×1,000,000

加速电压

0.01 ～ 30 kV

探针电流

数 pA ～ 500 nA

检测器（标配）

高位检测器(UED)、低位检测器(LED)

电子枪

浸没式肖特基Plus场发射电子枪

最佳光阑角控制镜

内置

物镜

超级混合式物镜/SHL

自动功能

自动聚焦、自动消像散、自动调节亮度、自动调节衬度

大景深模式(LDF)

内置

样品台

全对中测角样品台

样品移动

X:70mm  Y:50mm  Z:2 ～ 41mm   倾斜轴:-5 ～ 70° 旋转:360°

马达驱动

5轴马达驱动

样品交换室

最大直径: 100mm   　最大高度: 40mm

抽真空系统

SIP、TMP、RP